• 與MES系統整合,自動校驗產品生產信息和Recipe,自動做賬(Track In/Track Out)
  • 支持與RMS、APC系統整合,校驗Recipe參數和微調Recipe參數
  • 支持與FDC系統整合,實時采集生產過程中的制程數據和設備參數數據
  • 實時采集設備狀態數據和警報信息
  • 提供EAP Monitor工具監控,維護EAP系統
  • 通過嵌入EAP Daemon或設備改造,支持非標半導體設備接入EAP系統達到自動化生產
  • 與設備控制系統整合Load/Unload Cassette,選擇Recipe,控制設備自動化生產并跟蹤其生產過程
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